Принцип работы энергодисперсионного рентгенофлюоресцентного спектрометра

Работа спектрометра основана на возбуждении характеристического рентгеновского излучения атомов элементов, содержащихся в анализируемом образце, и регистрации вторичного флюоресцентного излучения полупроводниковым детектором. Автоматически идентифицируются спектральные линии, соответствующие содержащимся в образце элементам, и определяются интенсивности этих линий. При этом интенсивность линии пропорциональна концентрации элемента.